东方晶源科创板IPO披露首轮问询回复，拟募资25亿元

东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司9月29日在上交所披露科创板IPO首轮审核问询函回复，拟募资25亿元。公司主营集成电路量检测设备与制造类EDA软件，已形成EBI、CD-SEM、DR-SEM、HV-SEM四大品类电子束量检测设备产品矩阵，并已进入中车时代半导体、燕东微等供应链。